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英文名稱：EthoxytrimethylsilaneCAS號：1825-62-3分子式：C5H14OSi分子量：118.25EINECS號：217-370-6

熔點 -83°C沸點 75-76 °C(lit.)
密度 0.757 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸氣壓533 hPa (56 °C)折射率 n20/D 1.374(lit.)
閃點 -18 °C儲存條件 Flammables area形態Liquid顏色Clear colorless比重0.757爆炸極限值(explosive limit)1.5-16.5%(V)水溶解性 reacts敏感性 Moisture SensitiveBRN 1731950

危險性符號(GHS)
GHS02,GHS07警示詞Danger危險性描述H225-H315-H319-H335防范說明P210-P305+P351+P338-P370+P378-P403+P235-P261-P303+P361+P353-P405-P501a危險品標志 F,Xn,Xi危險類別碼 11-22-36/37/38安全說明 16-26-9-37/39-33危險品運輸編號 UN 1993 3/PG 2
WGK Germany 3
RTECS號VV4110000
F 21自燃溫度280 °CTSCA Yes海關編碼 2931 90 00HazardClass 3PackingGroup II